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摘要：本实用新型公开了一种用于离线校准尼康S204光刻机激光器光轴的装置，它涉及激光器校准技术领域。前定位块的右侧、后侧分别设置有侧边定位块、后定位块，前定位块、后定位块、侧边定位块的表面均设置有独立的承载平面台，前定位块的左侧由近至远依次放置有近点小孔标记、远点小孔标记；所述的前定位块与侧边定位块之间的距离为1mm，前定位块与后定位块之间的距离为316mm，侧边定位块与后定位块之间的距离为47mm，近点小孔标记与远点小孔标记之间的距离不小于4000mm。本实用新型根据三点一线的原理，将光刻机内部复杂的光路简化为一条直线，校准操作简便且耗时短，可直观地观察光线的变化，不占用生产设备的时间。
主权项：1.一种用于离线校准尼康S204光刻机激光器光轴的装置，其特征在于，包括前定位块1、承载平面台2、后定位块3、侧边定位块4、近点小孔标记5、远点小孔标记6和连接面7，前定位块1的右侧设置有侧边定位块4，前定位块1的后侧设置有后定位块3，前定位块1、后定位块3、侧边定位块4的表面均设置有独立的承载平面台2，前定位块1、后定位块3、侧边定位块4的底部设有连接面7，前定位块1的左侧由近至远依次放置有近点小孔标记5、远点小孔标记6；所述的前定位块1与侧边定位块4之间的距离a为1mm，前定位块1与后定位块3之间的距离b为316mm，侧边定位块4与后定位块3之间的距离c为47mm，侧边定位块4右侧边沿与后定位块3右侧边沿的距离d为35mm，前定位块1与近点小孔标记5之间的距离e为300mm，近点小孔标记5与远点小孔标记6之间的距离f不小于4000mm。
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百度查询： 上海矽锐电子科技有限公司 一种用于离线校准尼康S204光刻机激光器光轴的装置
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