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申请/专利权人：赛峰集团陶瓷
申请日：2019-11-25
公开（公告）日：2021-08-10
公开（公告）号：CN113242914A
专利技术分类：.局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的[2006.01]
专利摘要：本发明涉及一种化学气相渗透或化学气相沉积的方法，该方法至少包括：在多孔衬底的孔隙中或在衬底的表面上形成高温碳，其中将衬底置于反应室中并且由引入反应室的气相形成高温碳，该气相包含至少一种高温碳前体化合物和二氧化碳。
专利权项：1.一种化学气相渗透或化学气相沉积的方法，该方法至少包括：-在多孔衬底的孔隙中或在衬底的表面上形成高温碳，将衬底置于反应室中并且由引入反应室的气相形成高温碳，所述气相包含至少一种高温碳前体化合物和二氧化碳。
百度查询： 赛峰集团陶瓷 化学气相渗透或化学气相沉积方法
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