龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：株式会社新川
申请日：2020-08-20
公开（公告）日：2022-04-26
公开（公告）号：CN114402424A
专利技术分类：.专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置[2006.01]
专利摘要：配置装置包括：平台，支撑基板；配置部，保持晶粒，且在由平台支撑的基板上配置多个晶粒；以及控制部，具有基于由曝光装置所形成的多个图案彼此的位置关系而生成的表示多个晶粒的配置位置的地图数据，且基于地图数据，来控制在基板上配置多个晶粒时的平台与配置部的相互的相对位置。
专利权项：1.一种配置装置，为了与包括由曝光装置所形成的多个图案的晶片贴合，而以与所述多个图案对应的方式在基板上配置多个晶粒，且所述配置装置包括：平台，支撑基板；配置部，保持所述晶粒，且在由所述平台支撑的所述基板上配置所述多个晶粒；以及控制部，具有基于由所述曝光装置形成的所述多个图案彼此的位置关系而生成的表示所述多个晶粒的配置位置的地图数据，且基于所述地图数据，来控制在所述基板上配置所述多个晶粒时的所述平台与所述配置部的相互的相对位置。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号