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申请/专利权人：合肥开悦半导体科技有限公司
摘要：本发明提供一种涂胶显影机用HMDS多出口药液罐，包括上端面开设储液槽的罐体、设于储液槽内的分隔机构、以及设于储液槽上的出液机构，分隔机构包括将储液槽上部分分隔为至少两个体积相同的分隔空间和一个孤立空间的分隔组件，至少两个分隔空间和孤立空间通过储液槽下部分贯通；出液机构包括密封设于储液槽开口位置的盖板、多个底端贯穿与盖板上且分别与分隔空间和孤立空间一一对应贯通的出液组件、以及设于盖板上监测储液槽内液深的监测组件；本发明减少了管路的布置，减少了罐子的数量，实现了集成度更高、成本更低和安全性更高。
主权项：1.一种涂胶显影机用HMDS多出口药液罐，包括上端面开设储液槽6的罐体1、设于所述储液槽6内的分隔机构、以及设于储液槽6上的出液机构，其特征在于，所述分隔机构包括将储液槽6上部分分隔为至少两个体积相同的分隔空间和一个孤立空间的分隔组件，所述至少两个分隔空间和所述孤立空间通过储液槽6下部分贯通；所述出液机构包括密封设于储液槽6开口位置的盖板2、多个底端贯穿与所述盖板2上且分别与分隔空间和孤立空间一一对应贯通的出液组件、以及设于盖板2上监测储液槽6内液深的监测组件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥开悦半导体科技有限公司 一种涂胶显影机用HMDS多出口药液罐
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