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申请/专利权人：绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
摘要：本实用新型提供了一种HMDS供应装置，包括：发泡罐，用于存储液态HMDS的发泡罐；HMDS供应管道，与发泡罐连接，用于向发泡罐输入液态HMDS；发泡气体输入管道，伸入所述液态HMDS内，用于通入发泡气体以将液态HMDS发泡形成气态HMDS，包括：由发泡罐外引入发泡罐内部的引入管，及与引入管连接并位于发泡罐的底部的螺旋管，且螺旋管上具有若干孔洞；以及，气态HMDS输出管道，与发泡罐的顶盖连接，用于将发泡罐中的气态HMDS输出至工艺腔内。本实用新型通过在发泡罐底部设置带有若干孔洞的螺旋管，发泡气体通过若干孔洞在发泡罐的底部同步吹气，提高了液态HMDS的雾化效果。
主权项：1.一种HMDS供应装置，其特征在于，包括：发泡罐，用于存储液态HMDS；HMDS供应管道，与所述发泡罐连接，用于向所述发泡罐输入液态HMDS；发泡气体输入管道，伸入所述发泡罐中的所述液态HMDS内，用于通入发泡气体以将所述液态HMDS发泡形成气态HMDS，包括：由所述发泡罐外引入所述发泡罐内部的引入管，及与所述引入管连接并位于所述发泡罐的底部的螺旋管，且所述螺旋管上具有若干孔洞；以及，气态HMDS输出管道，与所述发泡罐的顶盖连接，用于将所述发泡罐中的气态HMDS输出至工艺腔内。
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百度查询： 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司 HMDS供应装置
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