龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：芯达半导体设备(苏州)有限公司
摘要：本发明的实施例提供了一种涂胶显影用HMDS系统。所述系统包括用于发生AD反应的腔室，还包括真空管路和发泡管路；所述真空管路与所述腔室的出口连通，用于使所述腔室形成真空状态；所述蒸气管路与所述腔室的进口和出口连通，用于向所述腔室通入HMDS蒸气。本发明的实施例结构简单，体积小巧，安装方便，为AD工艺提供HMDS进行反应。
主权项：1.一种涂胶显影用HMDS系统，包括用于发生AD反应的腔室，其特征在于，还包括真空管路和发泡管路；所述真空管路与所述腔室的出口连通，用于使所述腔室形成真空状态；所述蒸气管路与所述腔室的进口和出口连通，用于向所述腔室通入HMDS蒸气。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 芯达半导体设备(苏州)有限公司 一种涂胶显影用HMDS系统
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号