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申请/专利权人:深圳市海目星激光智能装备股份有限公司
申请日:2022-05-27
公开(公告)日:2022-09-16
公开(公告)号:CN115064477A
专利技术分类:..用于支承或夹紧的(用于定位、定向或对准的入H01L21/68)[2006.01]
专利摘要:本发明公开了一种供体基板、转移设备与供体基板制备方法,供体基板用于将转移材料转移至接收基板,包括沿厚度方向依次层叠设置的基层、吸收层与转移层,基层能够供激光穿过,吸收层能够吸收激光,以驱动转移层分离,其中,供体基板还包括保护层,保护层覆盖转移层背离吸收层的表面,保护层的熔点高于转移层的熔点。本发明通过保护层覆盖转移层,可以减少或者避免转移层在加热过程中的氧化,保证转移层与接收基板之间的连接强度,进而保证LED的焊接质量。
专利权项:1.供体基板,用于将转移材料转移至接收基板,其特征在于,包括沿厚度方向依次层叠设置的基层、吸收层与转移层,所述基层能够供激光穿过,所述吸收层能够吸收激光,以驱动所述转移层分离,其中,所述供体基板还包括保护层,所述保护层覆盖所述转移层背离所述吸收层的表面,所述保护层的熔点高于转移层的熔点。
百度查询: 深圳市海目星激光智能装备股份有限公司 供体基板、转移设备与供体基板制备方法
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