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申请/专利权人：上海纪元微科电子有限公司
摘要：本实用新型公开了一种可转动的防止超薄片晶圆漂浮出晶圆盒的装置，包括：晶圆盒；翻转长杆,所述翻转长杆的底部转动连接于晶圆盒正面的顶部；安置壳,所述安置壳的正面设置于晶圆盒的背面；底座，所述底座的顶部转动连接于安置壳的底部；升降夹持组件，所述升降夹持组件设置于安置壳的正面，所述升降夹持组件包括螺纹旋转杆。该可转动的防止超薄片晶圆漂浮出晶圆盒的装置能够在晶圆需要浸泡时，有效的将多个晶圆同时进行化学液体浸泡，防止浸泡过程中晶圆的漂浮，同时可以在工作人员不接触化学液体的情况下进行移动和风干，解决了现有晶圆在化学液体浸泡时晶圆漂浮和减少工作人员在不接触化学液体的情况下进行浸泡工作和风干工作的问题。
主权项：1.一种可转动的防止超薄片晶圆漂浮出晶圆盒的装置，包括：晶圆盒1；翻转长杆2,所述翻转长杆2的底部转动连接于晶圆盒1正面的顶部；安置壳3,所述安置壳3的正面设置于晶圆盒1的背面；底座4，所述底座4的顶部转动连接于安置壳3的底部；升降夹持组件5，所述升降夹持组件5设置于安置壳3的正面，所述升降夹持组件5包括螺纹旋转杆51，所述螺纹旋转杆51的底端转动连接于安置壳3内壁的底部，所述螺纹旋转杆51的顶端贯穿安置壳3内壁的顶部且延伸至安置壳3的外部，所述螺纹旋转杆51的顶部固定连接有圆盘手把52，所述螺纹旋转杆51的周侧面转动连接有活动滑块53，所述活动滑块53的正面固定连接有方块槽54，所述方块槽54的顶部转动连接有助力杆55，所述助力杆55的周侧面转动连接有压块56；风干组件6，所述风干组件6设置于安置壳3背面的底部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海纪元微科电子有限公司 一种可转动的防止超薄片晶圆漂浮出晶圆盒的装置
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