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申请/专利权人：瑞砻科技股份有限公司
摘要：本实用新型是一种用于化学气相沉积的气态前躯物的热裂解装置，包含有一腔体、一导气管以及一加热装置，该导气管位于该腔体的容室内且具有一入口与一出口，通过该导气管的弯曲迂回状，使该气态前躯物能充分热裂解成离子或原子态前躯物，不仅可增加裂解效率、节省能源更能加速工艺。
主权项：1.一种用于化学气相沉积的气态前躯物的热裂解装置，其特征在于，包含有：一腔体，其内部中空而具有一容室；一导气管，是位于该容室内且呈弯曲迂回状，该导气管贯穿该腔体，该导气管的一入口与一出口均位于该腔体外部；以及一加热装置，以对该腔体加热。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 瑞砻科技股份有限公司 用于化学气相沉积的气态前躯物的热裂解装置
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