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申请/专利权人：安徽京元科技有限公司
摘要：本实用新型涉及晶圆测试探针台技术领域，且特别涉及了一种探针台载物台Chuck更换式锁定结构，包括位移机构，所述位移机构的顶部设置有旋转台，所述旋转台的内部设置固定管件和转动件。该探针台载物台更换式锁定结构，通过紧固件的配合，可将多种不同型号的载物台安装在连管顶端，实现了单一型号探针台与多型号载物台的适配，进一步设置的卡件和卡槽在锁定件的配合下，可将安装座安装在连管顶端，使得连管和安装有真空卡盘的安装板可随转动件一同旋转，而且因为抽气接头和进气接头分别设在真空卡盘和连管的侧面，所以在真空卡盘转动时，连接了抽气接头和进气接头的管件不会再发生扭曲，解除了管件对这真空卡盘转动的限制。
主权项：1.一种探针台载物台Chuck更换式锁定结构，包括位移机构1，所述位移机构1的顶部设置有旋转台2，其特征在于：所述旋转台2的内部设置固定管件3和转动件5，所述固定管件3通过轴承4与转动件5连接，所述旋转台2的内部设置有用于驱动转动件5旋转的传动件6，所述转动件5的中心处设置有与固定管件3插接的连管7，所述连管7的底端通过密封件8与固定管件3连接，所述连管7通过锁定件10连接有安装座11，所述安装座11的顶部开设有滑槽12，所述滑槽12的内部活动连接有紧固件13，所述安装座11通过紧固件13连接有载物台，所述载物台的侧面和连管7的侧面分别设置有抽气接头和进气接头，所述抽气接头通过管件17与进气接头连接，所述固定管件3的底端通过通管18连接有泵机。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽京元科技有限公司 一种探针台载物台(Chuck)更换式锁定结构
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