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一种适用于探针台三端口快速校准的TRL标准套件 

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摘要:本发明公开了一种适用于探针台三端口快速校准的TRL标准套件,包括直通标准套件、反射标准套件和延时标准套件。本发明的有益效果是:适用于三端口探针的TRL标准套件,在保证校准精度的同时,能够快速进行三端口TRL校准。此标准套件简化了三端口TRL校准流程,节约测试人员测试时间,提高了探针台利用率。在测试三端口器件的电性能过程中,采用三端口标准套件进行TRL校准,提高测试时效性,无需进行水平方向与垂直方向探针的换针操作,方便测试人员进行校准。

主权项:1.一种适用于探针台三端口快速校准的TRL标准套件,其特征在于:包括设置在衬底材料(4)上的直通标准套件(1)、反射标准套件(2)和延时标准套件(3);所述直通标准套件(1)、反射标准套件(2)和延时标准套件(3)均设置有与探针(5)对接的接口,且接口包含水平向右与垂直向下、水平向右与水平向左以及水平向左与垂直向下;所述直通标准套件(1)利用三个微带直通线所构成的直通标准件实现TRL所需;所述反射标准套件(2)利用三个反射微带线所构成的反射标准件实现TRL所需;所述延时标准套件(3)利用三个微带直通线所构成的延时标准件实现TRL所需,且所述直通标准套件(1)、反射标准套件(2)和延时标准套件(3)的表面均涂覆有金属层。

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权利要求:

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