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基于STM32的显微P-Scan自动测量系统 

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申请/专利权人:太原理工大学

摘要:本发明属于非线性光学测量技术领域,提供了一种基于STM32的显微P‑Scan自动测量系统。解决了现有显微测量系统手动测量,导致实验精度差的问题。包括测量光路和控制单元;衰减盘通过步进电机搭载;无线通讯模块用于接收上位机发来的运动指令,并向步进电机驱动板发送脉冲信号,步进电机驱动板接收到脉冲信号后向步进电机提供驱动电流,步进电机带动衰减盘转动相应的角度,以达到实验所要求的入射功率;功率探头CMOS图像传感器均与上位机连接通讯。本发明测量用时短且测量精度高。

主权项:1.一种基于STM32的显微P-Scan自动测量系统,其特征在于:包括测量光路和控制单元;测量光路包括激光器(1)、小孔(2)、衰减盘(3)、分束镜(4)、样品(5)、功率探头(6)和CMOS图像传感器(7),激光器(1)发出的激光经反射镜I(8.1)反射,通过小孔(2)后经衰减盘(3)改变入射功率,依次经反射镜II(8.2)、分束镜(4)和物镜(9)到达样品(5)上的平整区,经样品(5)透射后的激光经滤波片(10)和透镜I(11.1)会聚于功率探头(6)处,同时经样品(5)反射后的激光依次经物镜(9)、分束镜(4)、透镜II(11.2)、透镜III(11.3)在CMOS图像传感器(7)处成像;衰减盘(3)通过步进电机(12)搭载;其中衰减盘(3)用于改变激光的入射功率,功率探头(6)用于检测经样品(5)透射后的出射功率,CMOS图像传感器(7)用于观察激光在样品(5)上的位置,以确保激光位于样品(5)上的平整区域;控制单元包括控制器和上位机,其中控制器包括主控芯片、步进电机驱动板和无线通讯模块,无线通讯模块用于接收上位机发来的运动指令,并向步进电机驱动板发送脉冲信号,步进电机驱动板接收到脉冲信号后向步进电机(12)提供驱动电流,步进电机(12)带动衰减盘(3)转动相应的角度,以达到实验所要求的入射功率;功率探头(6)CMOS图像传感器(7)均与上位机连接通讯。

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