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申请/专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
摘要：本公开提供一种显微试片制备方法、装置及记录介质。此方法包括下列步骤：辨识一测试影像中的多个测试样本，并根据辨识结果从测试样本中挑选目标样本；将目标样本移载至样本支柱，并获取移载后目标样本的俯视图，以辨识俯视图中目标样本的中心点；以及根据此中心点与目标样本的切削图案之间的位移，移动切削目标样本所使用的掩模的位置，以切削目标样本。
主权项：1.一种显微试片制备方法，适用于具有处理器的电子装置，其中所述方法包括下列步骤：辨识一测试影像中的多个测试样本，并根据辨识结果从所述测试样本中挑选一目标样本；将所述目标样本移载至样本支柱，并获取移载后所述目标样本的俯视图，以辨识所述俯视图中所述目标样本的中心点；以及根据所述中心点与所述目标样本的切削图案之间的位移，移动切削所述目标样本所使用的掩模的位置，以切削所述目标样本。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 台湾积体电路制造股份有限公司 显微试片制备方法、装置及记录介质
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