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阵列式物镜模块及光学干涉显微系统 

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申请/专利权人:财团法人工业技术研究院

摘要:本发明提供一种阵列式物镜模块及光学干涉显微系统,其中该阵列式物镜模块具有光轴且包括基板、多个镜框以及多个物镜组。基板包括多个容置通孔。各容置通孔包括内螺纹结构。多个镜框分别配置于多个容置通孔中。各镜框包括外螺纹结构。外螺纹结构适配于内螺纹结构。多个物镜组分别配置于多个镜框内。各物镜组包括至少一透镜。其中,在阵列式物镜模块的光轴的延伸方向上,各镜框与基板的相对位置依据对应的外螺纹结构与内螺纹结构的相对旋转角度而改变。

主权项:1.一种阵列式物镜模块,具有光轴且其特征在于,包括:基板,包括多个容置通孔,各所述多个容置通孔包括内螺纹结构;多个镜框,分别配置于所述多个容置通孔中,各所述多个镜框包括外螺纹结构,所述外螺纹结构适配于所述内螺纹结构;以及多个物镜组,分别配置于所述多个镜框内,各所述多个物镜组包括至少一透镜,其中在所述阵列式物镜模块的所述光轴的延伸方向上,各所述多个镜框与所述基板的相对位置依据对应的所述外螺纹结构与所述内螺纹结构的相对旋转角度而改变。

全文数据:

权利要求:

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