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申请/专利权人：哈尔滨工业大学
摘要：本申请公开了一种基于涡旋干涉的暗场共焦显微测量装置，涉及光学精密测量技术领域，涡旋光产生模块用于产生预定阶数的涡旋光，涡旋光干涉模块用于将涡旋光分为参考光和成像光，利用成像光照射待测样品的扫描位置，得到扫描位置的样品反射光，并使参考光和样品反射光进行重合干涉，得到干涉光，干涉光的光斑为花瓣状，旋转解调模块用于对干涉光进行旋转解调，得到扫描位置的振幅和相位信息，从而可表征缺陷的振幅和相位信息，实现相位型缺陷的检测。
主权项：1.一种基于涡旋干涉的暗场共焦显微测量装置，其特征在于，所述基于涡旋干涉的暗场共焦显微测量装置包括：涡旋光产生模块，用于产生预定阶数的涡旋光；涡旋光干涉模块，用于将所述涡旋光分为参考光和成像光，利用所述成像光照射待测样品的扫描位置，得到所述扫描位置的样品反射光，并使所述参考光和所述样品反射光进行重合干涉，得到干涉光；所述待测样品为三维集成电路；所述参考光和所述样品反射光的阶数相反；所述干涉光的光斑为花瓣状；旋转解调模块，用于对所述干涉光进行旋转解调，得到所述扫描位置的振幅和相位信息。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 哈尔滨工业大学 基于涡旋干涉的暗场共焦显微测量装置
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