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产生经制造的设备的合成显微图像 

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申请/专利权人:应用材料公司

摘要:一种方法包括接收表明经制造的设备的多个尺寸的数据。所述方法进一步包括向经训练的机器学习模型提供所述数据。所述方法进一步包括:从该经训练的机器学习模型接收与该经制造的设备相关联的合成显微图像,其中该合成显微图像是根据所述第一数据产生的。所述方法进一步包括执行以下至少一项:i向显示器输出所述合成显微图像,或ii对所述合成显微图像执行一个或多个操作。

主权项:1.一种方法,包括:接收表明经制造的设备的多个尺寸的第一数据;向一经训练的机器学习模型提供所述第一数据;从所述经训练的机器学习模型,接收与所述经制造的设备相关联的合成显微图像,其中所述合成显微图像是根据所述第一数据产生的;以及执行以下至少一项:i向显示器输出所述合成显微图像,或ii对所述合成显微图像执行一个或多个操作。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 应用材料公司 产生经制造的设备的合成显微图像

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