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申请/专利权人：恩特格里斯公司
摘要：本发明描述用于从其中锗烷GeH4与包含沸石咪唑骨架的固体吸附剂介质保持吸附关系的容器选择性地施配所述锗烷作为试剂气体的存储及施配系统以及相关方法。
主权项：1.一种围封容纳沸石咪唑骨架吸附剂及吸附在所述吸附剂上的GeH4的内部容积的存储及施配容器，所述容器包括：端口；阀，其安装于所述端口处；沸石咪唑骨架吸附剂，其在所述内部容积内；及GeH4，其吸附在所述沸石咪唑骨架上；所述容器可选择性地致动以使气态GeH4从所述容器的所述内部容积流动通过所述阀，以从所述容器排放所述GeH4。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 恩特格里斯公司 使用沸石吸附剂存储GeH4的存储及运送容器
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