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申请/专利权人：天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心);恩盛德(天津)精密工具股份有限公司

摘要：本发明公开了一种高硬度、高耐磨性的AlCrSiNAlCrMoSiN纳米多层复合涂层及其制备方法，属于涂层技术领域。该纳米多层复合涂层是由AlCrSiN调制层和AlCrMoSiN调制层交替叠加而成，涂层调制周期为55～175nm，周期数≥10；所述AlCrSiN调制层和AlCrMoSiN调制层的调制比为1:1～9:1。该涂层是采用高功率脉冲磁控溅射和脉冲直流磁控溅射复合镀膜技术在基体上沉积而成，通过优化调制周期和调制比，制备出兼具高硬度、高耐磨性及高耐热能力的涂层。

主权项：1.一种高硬度、高耐磨性的AlCrSiNAlCrMoSiN纳米多层复合涂层的制备方法，其特征在于：该纳米多层复合涂层是由AlCrSiN调制层和AlCrMoSiN调制层交替叠加而成，涂层调制周期为55～175nm，周期数≥8；所述AlCrSiN调制层和AlCrMoSiN调制层的调制比为1:1～9:1；所述的高硬度、高耐磨性的AlCrSiNAlCrMoSiN纳米多层复合涂层的制备方法，是采用高功率脉冲磁控溅射和脉冲直流磁控溅射复合镀膜技术在基体上沉积而成，其中靶材选取金属AlCrSi靶和CrMo靶；先在基体上沉积15～20min金属化合物CrN过渡层，再沉积AlCrSiNAlCrMoSiN纳米多层复合涂层，沉积AlCrSiNAlCrMoSiN纳米多层复合涂层时：本底真空为6×10-3Pa以上，沉积压强调节至1.5～1.6Pa，然后交替沉积AlCrSiN调制层和AlCrMoSiN调制层；制备AlCrSiN调制层时，开启AlCrSi靶，AlCrSi靶功率1.1～1.2kW，设置偏压为-120～-150V，占空比50％，通入Ar和N2；制备AlCrMoSiN调制层时，保持偏压-120～-150V，沉积压强为1.5～1.6Pa，开启AlCrSi靶、CrMo靶，AlCrSi靶功率1.1～1.2kW，CrMo靶功率0.3～0.4kW，通入Ar和N2；根据所需调制层的厚度以及调制比设置不同靶材开启时间及气体通入时间。

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权利要求：

百度查询： 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心) 恩盛德(天津)精密工具股份有限公司 高硬度、高耐磨性的AlCrSiN/AlCrMoSiN纳米多层复合涂层及其制备方法