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申请/专利权人：亚赛(无锡)半导体科技有限公司
摘要：一种具有KF接头的喷淋盘，包括底座，其包括圆形的底板、设置于底板上的若干喷淋孔、沿周向设置于底板外围的环形挡边以及设置于环形挡边内侧的安装台阶；盖板，设置于底座远离所述底板的一面，位于安装台阶上，盖板和底座之间形成喷气腔，盖板与环形挡边之间形成收容槽；KF接头，中部设置有连通喷气腔的进气通道，KF接头设置于盖板的中心位置，KF接头的外端伸出环形挡边的外端；挡片，设置于KF接头的输出端，挡片和盖板之间设置有间隙。该具有KF接头的喷淋盘结构简单，可靠性高，通过KF接头即可直接与半导体生产设备相连，操作简单，体积小，需要的安装空间也很小，用于对小尺寸基片喷淋，不会造成资源浪费，且整体成本较低。
主权项：1.一种具有KF接头的喷淋盘，其特征在于，包括：底座，其包括圆形的底板、均布设置于所述底板上的若干喷淋孔、沿周向设置于所述底板外围的环形挡边以及设置于所述环形挡边内侧的安装台阶；盖板，设置于所述底座远离所述底板的一面，位于所述安装台阶上，所述盖板和所述底座之间形成喷气腔，所述盖板与所述环形挡边之间形成收容槽；KF接头，其中部设置有连通所述喷气腔的进气通道，所述KF接头设置于所述盖板的中心位置，所述KF接头的外端伸出所述环形挡边的外端；挡片，设置于所述KF接头的输出端，所述挡片通过多个连接柱与所述底板相连，所述挡片和所述盖板之间设置有间隙。
全文数据：
权利要求：
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