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申请/专利权人：徐州上达芯源半导体技术有限公司
摘要：本发明公开了一种12吋FOSB晶舟盒内晶圆防氧化方法，具体包括以下步骤：S1、将FOSB晶舟盒放置于包装机工作平台左侧，将FOSB晶舟盒填充气体口与FOSB充氮气气嘴对接，启动真空包装机，通过电脑软件控制开启充氮模式，空气将在上盖与FOSB接缝处排除；S2、真空包装机事先在FOSB充氮气气嘴口处安装湿度感应器，当充氮气4mins后，转换成抽气模式，抽气30S，通过湿度变化确认FOSB晶舟盒内空气被排除；本发明涉及晶圆技术领域。该12吋FOSB晶舟盒内晶圆防氧化方法，将填充氮气功能集成于外抽式真空包装机上，整个包装流程通过一站式完成，确保空气被最大限度的排除，减少中间流转过程，使FOSB晶舟盒和包装袋内都是惰性气体氮气，这样可以确保晶圆产品的安全性。
主权项：1.一种12吋FOSB晶舟盒内晶圆防氧化方法，其特征在于：具体包括以下步骤：S1、将FOSB晶舟盒放置于包装机工作平台左侧，将FOSB晶舟盒填充气体口与FOSB充氮气气嘴对接，启动真空包装机，通过电脑软件控制开启充氮模式，空气将在上盖与FOSB接缝处排除；S2、真空包装机事先在FOSB充氮气气嘴口处安装湿度感应器，当充氮气4mins后，转换成抽气模式，抽气30S，通过湿度变化确认FOSB晶舟盒内空气被排除；S3、确认FOSB晶舟盒内氮气充填完毕后，关闭充气功能，将FOSB填充气体口与包装机上FOSB充氮气嘴分离，将FOSB晶舟盒与干燥剂一同放入包装袋，真空包装机开启包装功能；S4、包装袋口放入真空包装机密封条下，包住真空包装袋抽真空充氮气气嘴，开启包装机自动包装模式，完成包装，包装机停止；S5、将FOSB晶舟盒从包装机工作平台上取下，放置于物架半小时，观察没有漏气，完成包装。
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权利要求：
百度查询： 徐州上达芯源半导体技术有限公司 一种12吋FOSB晶舟盒内晶圆防氧化方法
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