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申请/专利权人：安徽华晟新能源科技有限公司
申请日：2021-07-16
公开（公告）日：2023-12-29
公开（公告）号：CN113555472B
专利技术分类：..包含非晶半导体材料的器件及器件的部件[2006.01]
专利摘要：本申请实施例提供了一种异质结电池处理方法、切片异质结电池及异质结电池组件，属于光伏电池制备技术领域。该异质结电池处理方法包括以下步骤：对异质结电池进行切割，得到切片异质结电池；对所述切片异质结电池的切割面进行等离子刻蚀处理；对等离子刻蚀处理后的所述切片异质结电池进行氧化处理，使得所述切片异质结电池的切割面形成氧化硅薄膜。通过本申请的异质结电池处理方法，能有效减小因激光切割造成的功率损失，提高切割后的异质结电池的效率。
专利权项：1.一种异质结电池处理方法，其特征在于，包括以下步骤：对所述异质结电池进行切割，得到切片异质结电池；对所述切片异质结电池的切割面进行等离子刻蚀处理，所述等离子刻蚀处理的条件为：辉光功率范围为500W-1000W，压力范围为100Pa-200Pa；对等离子刻蚀处理后的所述切片异质结电池进行氧化处理，使得所述切片异质结电池的切割面形成氧化硅薄膜；所述氧化处理为将所述切片异质结电池置于含氧氛围环境中，所述含氧氛围包括氧气；所述含氧氛围的条件为：温度范围为100℃-200℃，时间范围为10min-30min，氧气流量为1000sccm-2000sccm；所述氧化处理还包括，将经所述含氧氛围环境处理后的所述切片异质结电池置于氧化氛围环境中,所述氧化氛围环境包括硅烷、二氧化碳、氢气；所述氧化氛围的条件为：温度范围为100℃-200℃，硅烷流量范围为1000-2000sccm，二氧化碳流量范围为100-1000sccm，氢气流量范围为4000-5000sccm，时间范围为10min-30min。
百度查询： 安徽华晟新能源科技有限公司 异质结电池处理方法、切片异质结电池及异质结电池组件
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