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申请/专利权人：杭州泓芯微半导体有限公司

摘要：本发明涉及石英DOME件研磨技术领域，且公开了一种用于石英DOME的异形石英件双面打磨装置，包括机箱、液压杆、石英研磨件转动机构、调节夹持机构、移动研磨机构、喷水组件，通过拉动四个支撑杆带动夹块一起在滑轨内进行向内移动，从而达到了四个夹块通过石英DOME件的大小进行调节固定的作用，通过移动研磨头贴合石英DOME件时，内表面设置的磁块吸附被动研磨头，被动研磨头被吸附上升贴合于石英DOME件下表面，同时对石英DOME件下表面进行研磨，相较于现有的石英研磨装置只能单面研磨大大地提升了研磨时的效率，并且通过启动一个电机在带动石英DOME件转动的同时带动两个研磨头进行移动，对石英DOME件上下两面同时进行全方位研磨的作用。

主权项：1.一种用于石英DOME的异形石英件双面打磨装置，包括机箱（1）、液压杆（2）、石英研磨件转动机构（3）、调节夹持机构（4）、移动研磨机构（5）、喷水组件（6），其特征在于：所述机箱（1）背部设置有透气孔（11），所述机箱（1）背部设置有排水管（12），所述机箱（1）内表面上方固定安装有防水板（13），所述排水管（12）设置于防水板（13）与机箱（1）内表面上方的隔层中，所述机箱（1）内表面中间固定安装有隔板（14），设置于水泵（65）上方用于防止水进入水泵（65）接线处使水泵短路，所述机箱（1）上表面四角处固定安装有四根液压杆（2），四根所述液压杆（2）上表面固定安装有顶板（21），所述顶板（21）下表面固定安装有上压板（22），所述上压板（22）下表面中间环形安装有四个弹簧杆（23），所述弹簧杆（23）外表面套设安装有弹簧（24），所述弹簧（24）下端固定连接有套杆（25），所述套杆（25）活动安装于弹簧杆（23）外表面，所述套杆（25）下表面固定安装有定位轮（26）；所述移动研磨机构（5）包括传动链轮（51），所述传动链轮（51）通过链条（52）传动连接有联动链轮（53），所述联动链轮（53）内表面固定安装有输出限位杆（54），所述输出限位杆（54）穿过并活动安装于防水板（13）和机箱（1）上方内表面，所述输出限位杆（54）外壁设有四个移动限位槽（55），所述输出限位杆（54）内表面活动安装有转动滑杆（56），所述转动滑杆（56）外壁固定安装有四个转动滑块（57），四个所述转动滑块（57）活动安装于移动限位槽（55）内表面，所述转动滑杆（56）上表面固定安装有输出伞齿轮（58），所述输出伞齿轮（58）通过表面卡齿啮合安装有输入伞齿轮（59），所述输入伞齿轮（59）左侧外表面固定安装有丝杆（511），所述丝杆（511）活动安装于连接器（510）内表面，所述丝杆（511）左侧固定安装于上压板（22）设置的凹槽处，所述连接器（510）下端内表面活动安装有转动滑杆（56）；所述丝杆（511）通过表面螺纹啮合安装有丝杆套柱（512），所述丝杆套柱（512）下表面固定安装有移动弹簧杆（513），所述移动弹簧杆（513）外表面套设安装有移动弹簧（514），所述移动弹簧（514）另一端固定连接有移动套杆（515），所述移动套杆（515）活动安装于移动弹簧杆（513）外表面，所述移动套杆（515）外表面固定安装有上喷头底座（528），所述移动套杆（515）下表面固定安装有移动圆形连接头（516），所述移动圆形连接头（516）外表面活动安装有移动研磨头（517），所述移动研磨头（517）内表面设置有磁块；所述调节夹持机构（4）包括气缸（41）、顶杆（42）、连接块（43）、一号连接杆（44）、滑块（45）、滑轨（46）、二号连接杆（47）、旋转板（48）、支撑杆（49）、夹块（410）、三号连接杆（411）、四角旋转板（412），所述机箱（1）右侧内表面固定安装有气缸（41），所述气缸（41）通过中心轴固定连接有顶杆（42），所述顶杆（42）外表面固定连接有连接块（43），所述连接块（43）内表面固定连接有一号连接杆（44），所述一号连接杆（44）固定安装于滑块（45）内表面。

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