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摘要：本发明提供一种提高TRL校准的传播延迟参数的准确度的方法，传输线校准件的不同频率范围具有不同的有效介电常数，根据所述传输线校准件的不同频率范围所对应的有效介电常数获得不同的传播延迟参数，以通过修正有效介电常数来修正传播延迟参数，从而可提高TRL校准的传播延迟参数的准确度。
主权项：1.一种提高TRL校准的传播延迟参数的准确度的方法，其特征在于，包括：提供一叠层结构模型，所述叠层结构模型包括基底及设置在所述基底表面的传输线校准件，在垂直所述基底的方向上，所述基底具有第一高度，在平行所述基底的方向上，所述传输线校准件具有第一宽度，所述基底与待测器件基底的材料相同；根据所述第一高度、所述第一宽度以及所述基底的介电常数获得第一有效介电常数，所述第一有效介电常数是所述基底与所述传输线校准件的接触界面为光滑界面时所述传输线校准件的有效介电常数；获得所述基底与所述传输线校准件的接触界面处所述传输线校准件的十点平均粗糙度；根据所述第一有效介电常数、所述第一高度以及所述十点平均粗糙度获得所述传输线校准件的第二有效介电常数，所述第二有效介电常数是所述传输线校准件在第一频率的有效介电常数；根据所述十点平均粗糙度获得所述传输线校准件的第三有效介电常数，所述第三有效介电常数是所述传输线校准件在第二频率的有效介电常数，所述第二频率大于所述第一频率；以所述第二有效介电常数作为参数，获得所述传输线校准件在所述第一频率下的传播延迟参数，以所述第三有效介电常数作为参数，获得所述传输线校准件在所述第二频率下的传播延迟参数。
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