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摘要：本发明公开一种结构参数确定方法，涉及基于光谱确定结构参数的技术领域，该方法包括：获取样品上周期性结构的测量光谱；将测量光谱输入预先训练好的参数确定模型中，以使参数确定模型根据测量光谱确定周期性结构的结构参数，参数确定模型是在基于训练样本集中的训练样本子集训练神经网络模型得到中间模型后再基于训练样本集训练中间模型得到的模型，参数确定模型收敛于全局最优点。上述技术方案，将获取到的样品上周期性结构的测量光谱输入参数确定模型，参数确定模型对测量光谱进行处理以确定测量光谱的结构参数，收敛于全局最优点的参数确定模型可以根据测量光谱确定较为准确的结构参数，实现准确确定样品上周期性结构的结构参数。
主权项：1.一种结构参数确定方法，其特征在于，包括：获取样品上周期性结构的测量光谱；将所述测量光谱输入预先训练好的参数确定模型中，以使所述参数确定模型根据所述测量光谱确定所述周期性结构的结构参数，其中，所述参数确定模型是在基于训练样本集中的训练样本子集训练神经网络模型得到中间模型后再基于训练样本集训练所述中间模型得到的模型，所述参数确定模型收敛于全局最优点。
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百度查询： 上海精测半导体技术有限公司 一种结构参数确定方法
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