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申请/专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日：2021-06-25
公开（公告）日：2024-01-30
公开（公告）号：CN113410174B
专利技术分类：..用于支承或夹紧的（用于定位、定向或对准的入H01L21/68）[2006.01]
专利摘要：本发明公开了一种吸附机构及吸附系统。本发明中，吸附机构包括：吸盘，吸盘内开设有第一气道和第二气道，且吸盘的底部开设有与第一气道相通的进气孔；吸盘内还设有与第二气道相通且贯穿吸盘的顶部的走气通道；交接装置，交接装置设置在吸盘中；交接装置具有支撑杆，且支撑杆用于在第一气道内通入气体时被气体顶出吸盘的顶部；以及；单向控制阀，设置在吸盘内，连接第一气道和第二气道；其中单向控制阀用于在第一气道内通入气体时关闭，还用于在抽出第一气道内气体时打开。与现有技术相比，使得吸附机构结构简单轻巧、整体尺寸小、且在转动中无线缆干扰，可实现大角度旋转。
专利权项：1.一种吸附机构，其特征在于，包括：吸盘，所述吸盘内开设有第一气道和第二气道，且所述吸盘的底部开设有与所述第一气道相通的进气孔；所述吸盘内还设有与所述第二气道相通且贯穿所述吸盘的顶部的走气通道；交接装置，所述交接装置设置在所述吸盘中；所述交接装置具有支撑杆，且所述支撑杆用于在所述第一气道内通入气体时被所述气体顶出所述吸盘的顶部；以及；单向控制阀，设置在所述吸盘内，连接所述第一气道和所述第二气道；其中所述单向控制阀用于在所述第一气道内通入气体时关闭，还用于在抽出所述第一气道内气体时打开。
百度查询： 上海隐冠半导体技术有限公司 吸附机构及吸附系统
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