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申请/专利权人：北方夜视技术股份有限公司
摘要：本申请公开了一种插针式EBAPS探测器及制作方法，带插针管壳、有源像素传感器APS、阴极环、阴极透镜、机芯模组、插座；带插针管壳通过底面阵列设置的管壳插针插接于插座上；插座与电路板电连接上；有源像素传感器底面阵列设置多个传感器插针；传感器插针插接于带插针管壳内的管壳接口中。该器件结合了真空和固体器件原有的优点，解决了传统真空器件图像不可编辑、存储和数字化输出的问题；具有低噪声、高探测灵敏度、超低照度下可工作、低功耗、体积小、重量轻、低成本和数字化图像输出的特性。
主权项：1.一种插针式EBAPS探测器，其特征在于，包括：带插针管壳、有源像素传感器、阴极环、阴极透镜、机芯模组、插座；带插针管壳通过底面阵列设置的管壳插针插接于插座上；插座与电路板电连接上；有源像素传感器底面阵列设置多个传感器插针；传感器插针插接于带插针管壳内的管壳接口中；阴极透镜通过阴极环封装设置于带插针管壳顶面上；阴极透镜底面上设置的凸台面上设置阴极面；凸台面根部的大平面上制作导电层和封接层；阴极透镜底面周缘与阴极环内填充的铟料焊接；整个器件各位置的真空度≤1×10-5pa；阴极透镜底面凸台面上设置的阴极面到有源像素传感器的上表面间距≤0.8mm；电子轰击成像时，电路两极间先加≤4000v的高压，当光子通过阴极透镜到达凸台面的阴极发生光电子发射效应时，产生的电子在真空度≤1×10-5pa的环境内，在高压电场的作用下，加速向有源像素传感器表面运动，并轰击有源像素传感器表面，在源像素传感器12内部产生电子轰击增益，所得增益经过放大、存储、收集和输出得到数字图像输出；插针式EBAPS探测器在照度为10-4lx的检测环境下，信噪比10～25dB；探测灵敏度为900～1200uALm；照度低于10-5lx时可成像；工作功耗低于3w；外形尺寸为50mm×50mm×20mm；重量小于80g。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北方夜视技术股份有限公司 插针式EBAPS探测器结构及制作方法
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