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一种TMAH废液的回收处理方法 

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申请/专利权人:江苏电科环保有限公司

摘要:本发明提供一种TMAH废液的回收处理方法,其方法简单,可对含双氧水的TMAH废液进行回收处理,防止TMAH废液排放污染环境、并回收高品质的TMAH产品,提高资源利用效果的同时保护环境;其包括以下步骤,S1:将废液储罐中的TMAH废液通入离子交换树脂塔;S2:然后送入预处理釜中,在55~90℃条件下加热1~2h;S3:再通入循环蒸发装置蒸发0.5~1.5h,蒸发温度为68~90℃,得到TMAH浓缩液;S4:将所述TMAH浓缩液送入浓缩液储存罐中,并控制所述浓缩液储存罐的温度为68~75℃,然后通过高速离心雾化头进入凝固料仓进行冷却凝固,得到TMAH成品。

主权项:1.一种TMAH废液的回收处理方法,其特征在于:其包括以下步骤,S1:将废液储罐中的TMAH废液通入离子交换树脂塔;TMAH废液为具有双氧水的废液,其中,TMAH含量为10%~35%,双氧水含量为1%~30%;S2:然后送入预处理釜中,在55~90℃条件下加热1~2h,加热时,开启预处理釜中的搅拌桨进行持续搅拌;S3:再通入循环蒸发装置蒸发0.5~1.5h;其中,所述循环蒸发装置包括连接形成回路的蒸发器和分离器,蒸发器和分离器内抽真空,通过控制真空度为-0.6~-0.97bar,蒸发温度为68~90℃,得到含水含量低于3%的TMAH浓缩液;S4:将所述TMAH浓缩液送入浓缩液储存罐中,在浓缩液储存罐中通入氮气进行保护,并控制所述浓缩液储存罐的温度为68~75℃,保持TMAH处于熔融的液态,浓缩液储存罐采用夹套内通入0.6Mpa、162℃蒸汽的方式进行加热以控制温度;然后通过20000rmin的高速离心雾化头进入凝固料仓,在凝固料仓内采用常温空气吹扫冷却、凝固,得到TMAH含量99.5%以上的晶体颗粒,即为TMAH成品。

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