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申请/专利权人：高频(北京)科技股份有限公司
摘要：本公开涉及半导体行业废液的资源化回收利用技术领域，具体公开半导体硫酸废液、TMAH废液的综合处理系统及方法，包括以下内容：预处理单元、厌氧单元、深度处理单元、脱氮单元和硫酸处理单元。预处理单元、厌氧单元、深度处理单元和脱氮单元顺次连接为一个处理部，硫酸处理单元连接于处理部，硫酸处理单元向处理部提供再生硫酸。本公开的系统及方法可以充分净化半导体硫酸废液，并将在生成的硫酸进行利用；同时处理硫酸废液和TMAH废液，无需增设其他处理设备，极大程度地减少了设备成本；无需委托外部工厂进行处理，减少了运输成本，避免出现废液泄露污染环境的安全隐患和环境污染。实现半导体行业废液的减量排放及资源化回收利用。
主权项：1.一种半导体硫酸废液、TMAH废液的综合处理系统，其特征在于，包括以下内容：预处理单元、厌氧单元、深度处理单元、脱氮单元和硫酸处理单元；所述预处理单元、所述厌氧单元、所述深度处理单元和所述脱氮单元均通过动力泵顺次连接为一个处理部，所述硫酸处理单元连接于所述处理部；所述硫酸处理单元包括第一热交换器、第一反应槽、第二反应槽、第二热交换器及再生硫酸存储槽，所述热交换器、所述第一反应槽、所述第二反应槽、所述第二热交换器及所述再生硫酸存储槽顺次链接；所述预处理单元包括预反应槽、气浮槽和第一中间槽，所述预反应槽、所述气浮槽和所述第一中间槽顺次连接；所述厌氧单元包括UASB反应槽和沉淀槽，所述UASB反应槽连接于所述沉淀槽；所述深度处理单元包括过滤器、超滤结构、第二中间槽，所述过滤器、所述超滤结构和所述中间槽顺次连接；所述脱氮单元包括两段脱气膜，所述两段脱气膜串联；其中，所述硫酸处理单元向所述处理部提供再生硫酸。
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百度查询： 高频(北京)科技股份有限公司 一种半导体硫酸废液、TMAH废液的综合处理系统及方法
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