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申请/专利权人：无锡卓海科技股份有限公司

摘要：本发明涉及一种适于8寸晶圆OPEN装载传输的映射方法及装置，其包括：将一8寸晶圆OPEN装载用的OPEN装载Cassette料盒装配在所述装载传输装置的机台上；基于构建的扫描检测坐标刻度映射关系，将8寸晶圆上表面扫描检测坐标刻度值、8寸晶圆下表面扫描检测坐标刻度值分别映射生成12寸晶圆上表面扫描检测映射坐标刻度值、12寸晶圆下表面扫描检测映射坐标刻度值，并将映射生成的12寸晶圆上表面扫描检测映射坐标刻度值、12寸晶圆下表面扫描检测映射坐标刻度值加载至装载传输装置内的装载传输处理器内。本发明可基于12寸晶圆FOUP装载传输下实现8寸晶圆OPEN装载传输的扫描检测映射，满足8寸晶圆装载传输的需求，提高产品的利用率。

主权项：1.一种适于8寸晶圆OPEN装载传输的映射方法，其特征是，所述映射方法包括：对一12寸晶圆FOUP装载传输用装载传输装置，将一8寸晶圆OPEN装载用的OPEN装载Cassette料盒装配在所述装载传输装置的机台上，以替换所述装载传输机台上原生12寸晶圆FOUP装载用的FOUP装载Cassette料盒，其中，OPEN装载Cassette料盒内SLOT齿槽的层数与所替换FOUP装载Cassette料盒内SLOT齿槽的层数相一致；对装配于机台上的OPEN装载Cassette料盒，所述OPEN装载Cassette料盒内任一层SLOT齿槽的位置均位于所替换FOUP装载Cassette料盒正对应层数SLOT齿槽的位置上方；基于OPEN装载Cassette料盒内所有层SLOT齿槽在机台上方的分布位置状态，构建表征OPEN装载Cassette料盒内任一层SLOT齿槽与FOUP装载Cassette料盒相应层SLOT齿槽对应状态的扫描检测坐标刻度映射关系；利用Mapping检测传感器对OPEN装载Cassette料盒内的晶圆分布扫描检测，其中，对任一层SLOT齿槽内的晶圆，通过ABZ增量式光栅编码器提取Mapping检测传感器扫描当前晶圆表面时的扫描检测坐标刻度值，所提取的扫描检测刻度值包括对晶圆上表面扫描时的8寸晶圆上表面扫描检测坐标刻度值以及对晶圆下表面扫描时的8寸晶圆下表面扫描检测坐标刻度值；基于构建的扫描检测坐标刻度映射关系，将8寸晶圆上表面扫描检测坐标刻度值、8寸晶圆下表面扫描检测坐标刻度值分别映射生成12寸晶圆上表面扫描检测映射坐标刻度值、12寸晶圆下表面扫描检测映射坐标刻度值，并将映射生成的12寸晶圆上表面扫描检测映射坐标刻度值、12寸晶圆下表面扫描检测映射坐标刻度值加载至装载传输装置内的装载传输处理器内；基于12寸晶圆上表面扫描检测映射坐标刻度值以及12寸晶圆下表面扫描检测映射坐标刻度值，装载传输处理器识别并生成OPEN装载Cassette料盒内每一层SLOT齿槽的晶圆分布状态信息；对构建的扫描检测坐标刻度映射关系，则有：Yi＝k*Xi-X0+Y0,i＝1,2,…,n其中，Yi为映射生成的12寸晶圆表面扫描检测映射坐标刻度值，k为映射系数，X0为OPEN装载Cassette料盒在机台上方的初始基准位置，Y0为FOUP装载Cassette料盒在机台上方的初始基准位置，Xi为利用ABZ增量式光栅编码器提取Mapping检测传感器扫描晶圆表面时相对初始基准位置X0的8寸晶圆表面扫描检测坐标刻度值，n为OPEN装载Cassette料盒内SLOT齿槽的层数。

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