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压电元件、压电致动器、液滴吐出头、液滴吐出装置以及铁电体存储器 

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申请/专利权人:柯尼卡美能达株式会社

摘要:本发明的课题在于提供一种机电耦合系数高的压电元件、以及具备该压电元件的压电致动器、液滴吐出头、液滴吐出装置及铁电体存储器。本发明的压电元件具备第1电极、第2电极以及位于所述第1电极以及所述第2电极之间的锆钛酸铅膜,其特征在于,该压电元件被制作在主面为001面的Si基板上,所述Si基板在面内方向以及面外方向上晶体方位一致,所述Si基板的110面和所述锆钛酸铅膜的100面平行,在X射线衍射法的摇摆曲线测定中,能够用3个分量波峰拟合利用从所述Si基板的[100]方向入射的X射线取得的锆钛酸铅膜的对称面反射的波峰。

主权项:1.一种压电元件,具备第1电极、第2电极以及位于所述第1电极与所述第2电极之间的锆钛酸铅膜,其特征在于,该压电元件被制作在主面为001面的Si基板上,所述Si基板在面内方向以及面外方向上晶体方位一致,所述Si基板的110面和所述锆钛酸铅膜的100面平行,在X射线衍射法的摇摆曲线测定中,能够用3个分量波峰拟合利用从所述Si基板的[100]方向入射的X射线取得的所述锆钛酸铅膜的对称面反射的波峰。

全文数据:

权利要求:

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