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申请/专利权人：住晶新材料科技(烟台)有限公司
摘要：本实用新型公开了一种光刻胶吐出装置，属于晶圆涂胶领域，一种光刻胶吐出装置，包括连接块，所述连接块侧壁靠近底面处固定连接有支架，所述支架呈L形设置，所述支架底面固定连接有支撑板，所述支撑板侧壁固定安装有泵机，所述泵机输出端固定连接有喷胶管，所述喷胶管侧壁上设置有清理机构，所述支架侧壁固定连接有横板，所述横板左侧壁设置有夹持机构，它可以实现，当喷胶管运行一段时间后，在更换晶圆的过程中，利用清理海绵可将管口汇集的胶滴进行清理，避免掉落在晶圆上，提升喷胶管管口的洁净。
主权项：1.一种光刻胶吐出装置，包括连接块1，所述连接块1侧壁靠近底面处固定连接有支架2，所述支架2呈L形设置，所述支架2底面固定连接有支撑板3，所述支撑板3侧壁固定安装有泵机4，所述泵机4输出端固定连接有喷胶管5，其特征在于：所述喷胶管5侧壁上设置有清理机构，所述支架2侧壁固定连接有横板10，所述横板10左侧壁设置有夹持机构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 住晶新材料科技(烟台)有限公司 一种光刻胶吐出装置
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