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摘要：本发明公开了一种用于VISAR系统的干涉仪零程差在线调试机构，旨在解决现有技术中存在的干涉仪是否在零程差状态的判别及离线标定后的复位过程大大增加了实验人员的操作繁琐性，降低了实验效率，而且对实验结果带来了不确定性的技术问题。本发明在VISAR系统中集成了光源单元、反射单元、调节单元以及反馈单元；实现了干涉仪零程差状态的在线调试；无需将干涉仪移出进行离线调试，具有较高的自动化水平，简化了实验操作，提高了试验效率；还可对干涉仪的零程差状态进行在线检测，避免对实验结果带来了不确定性。

主权项：1.一种用于VISAR系统的干涉仪零程差在线调试机构，包括用于将工作入射光路R1分为第一工作出射光路C1和第二工作出射光路C2的分光折转模块1；第一工作出射光路C1和第二工作出射光路C2上分别设有结构相同的干涉仪2；干涉仪2包括等比分束镜BS1、反射镜M1、合束镜BS2以及反射镜M2；其特征在于：还包括光源单元、反射单元、调节单元以及反馈单元；所述光源单元设置于工作入射光路R1之外，并向工作入射光路R1上出射白光光线；所述反射单元将所述白光光线反射至分光折转模块1，并通过分光折转模块1分为两路光线，该两路光线分别与第一工作出射光路C1和第二工作出射光路C2重合；所述调节单元为两个，分别安装于两个干涉仪2上，用于调节等比分束镜BS1、反射镜M1、合束镜BS2以及反射镜M2，使得四者之间的光路可形成等边四边形；所述反馈单元为两个，分别位于第一工作出射光路C1和第二工作出射光路C2上，且分别与两个干涉仪2的出射端对应，用于反馈干涉仪2的干涉状态；所述反射单元包括反射镜M5及第一电动平移台3；所述反射镜M5安装于第一电动平移台3的工作端；所述第一电动平移台3位于工作入射光路R1一侧，用于将反射镜M5切入或切出工作入射光路R1；所述调节单元包括第一电动镜架4、第二电动镜架5、第三电动镜架6、第四电动镜架7以及第二电动平移台8；所述第一电动镜架4用于调节反射镜M1的二维角度；所述第二电动镜架5用于调节等比分束镜BS1的二维角度；所述第三电动镜架6用于调节合束镜BS2的二维角度；所述第四电动镜架7用于调节反射镜M2的二维角度，且第四电动镜架7安装于第二电动平移台8上；所述反馈单元包括CCD和第三电动平移台9；所述CCD安装于第三电动平移台9上；两个反馈单元中的第三电动平移台9分别位于第一工作出射光路C1和第二工作出射光路C2一侧，用于将CCD切入或切出第一工作出射光路C1或第二工作出射光路C2。

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百度查询： 中国科学院西安光学精密机械研究所 用于VISAR系统的干涉仪零程差在线调试机构