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申请/专利权人：四川和晟达电子科技有限公司;江苏和达电子科技有限公司
摘要：本发明涉及蚀刻液技术领域，具体为一种兼容IGZO、钼、钛、镍、铌及其合金的蚀刻液及其使用方法，含有过氧化氢、有机酸、有机碱、双氧水稳定剂、金属缓释及电化学调节剂、表面活性剂及添加剂、超纯水；所述金属缓释剂及电化学调节剂为硫胺素、硼酸及其硼酸盐、磷酸及其磷酸盐、硝酸及其硝酸盐中至少两种的组合物，实现同时兼容多种金属膜层，能够更好的满足实际应用需求。
主权项：1.一种兼容IGZO、钼、钛、镍、铌及其合金的蚀刻液，其特征在于，含有过氧化氢、有机酸、有机碱、双氧水稳定剂、金属缓释及电化学调节剂、表面活性剂及添加剂、超纯水；所述金属缓释剂及电化学调节剂为硫胺素、硼酸及其硼酸盐、磷酸及其磷酸盐、硝酸及其硝酸盐中至少两种的组合物。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 四川和晟达电子科技有限公司 江苏和达电子科技有限公司 一种兼容IGZO、钼、钛、镍、铌及其合金的蚀刻液及其使用方法
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