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TBC背接触结构晶体硅太阳能电池及其制备方法 

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申请/专利权人:芜湖协鑫集成新能源科技有限公司

摘要:本申请公开TBC背接触结构晶体硅太阳能电池及其制备方法,该电池包括N型硅基底、第一隧穿氧化层、P型多晶硅层、第二隧穿氧化层、N型多晶硅层、正面钝化膜、背面钝化膜和电极组件;N型硅基底的背面分布有第一、第二沉积区,第一沉积区与N型硅基底的侧边缘具有第一间隙,第一、第二沉积区间具有第二间隙;第一隧穿氧化层、P型多晶硅层依次沉积在第一沉积区;第二隧穿氧化层覆盖第二沉积区和部分P型多晶硅层;N型多晶硅层设置在第二隧穿氧化层上;正面、背面钝化膜分别设置在N型硅基底的正面和背面;电极组件包括第一电极、第二电极和第三电极。本申请可降低对P2激光的光斑大小要求,并提高光斑的精度,降低电池制备难度。

主权项:1.一种TBC背接触结构晶体硅太阳能电池,其特征在于,包括:N型硅基底,具有沿高度方向相对设置的正面和背面,所述N型硅基底的背面分布有第一沉积区和第二沉积区,于水平方向上,所述第一沉积区与所述N型硅基底的侧边缘之间具有第一间隙,所述第一沉积区与所述第二沉积区之间具有第二间隙;第一隧穿氧化层,设置在所述N型硅基底的背面并覆盖所述第一沉积区;P型多晶硅层,设置在所述第一隧穿氧化层的表面上,并与所述N型硅基底形成第一套PN结;第二隧穿氧化层,包括设置在所述N型硅基底的背面的第一层体和设置在所述P型多晶硅层表面上的第二层体,所述第一层体覆盖所述第二沉积区,所述第二层体覆盖部分所述P型多晶硅层;N型多晶硅层,设置在所述第二隧穿氧化层的表面上,位于所述第二层体表面上的所述N型多晶硅层与所述P型多晶硅层形成第二套PN结;正面钝化膜,设置在所述N型硅基底的正面;背面钝化膜,设置在所述N型硅基底的背面并覆盖所述N型多晶硅层、所述P型多晶硅层、所述N型硅基底、所述第一隧穿氧化层和所述第二隧穿氧化层;电极组件,穿设在所述背面钝化膜内,所述电极组件包括第一电极、第二电极和第三电极;所述第一电极位于所述第二沉积区,一端穿过所述背面钝化膜以与所述N型多晶硅层相接触,另一端穿出于所述背面钝化膜;所述第二电极位于所述第一沉积区,一端穿过所述背面钝化膜以与所述N型多晶硅层相接触,另一端穿出于所述背面钝化膜;所述第三电极位于所述第一沉积区,一端穿过所述背面钝化膜以与所述P型多晶硅层相接触,另一端穿出于所述背面钝化膜。

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权利要求:

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