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申请/专利权人:天通控股股份有限公司;天通银厦新材料有限公司
摘要:本发明属于蓝宝石晶体生长技术领域,具体涉及蓝宝石晶体生长杂质控制方法及晶体生长用坩埚。一种蓝宝石晶体生长杂质控制方法,包括以下步骤:坩埚除杂,将氧化铝溶液喷涂在钼坩埚内壁,将该坩埚放入长晶炉内,炉体进行密封后开始升温烧结和降温冷却;长晶,将氧化铝原料粉末填入处理后的坩埚内,炉体密封后开始升温熔融原料,原料融化后进行引晶和晶体生长,晶体生长完成后,冷却降温取出晶体。本发明主要利用氧化铝在不同温度下的反应设计和控制,通过坩埚除杂操作获得一种晶体生长用坩埚,避免新坩埚内杂质元素引入蓝宝石晶体生长过程中,从而控制蓝宝石晶体生长的杂质,提高了晶体生长的品质和一致性。
主权项:1.一种蓝宝石晶体生长杂质控制方法,其特征在于,包括以下步骤:S1、坩埚除杂:将氧化铝溶液喷涂在钼坩埚内壁,将该坩埚放入长晶炉内,炉体进行密封后开始升温烧结和降温冷却;其中,升温烧结:第一阶段进行抽真空后,真空度控制在≤500Torr,再升温至400-500℃,保持0.5-3h,第二阶段充入保护气体后继续升温至700-750℃,保持0.5-3h,第三阶段继续升温至2055-2065℃,保持8-12h;S2、长晶:将氧化铝原料粉末填入处理后的坩埚内,炉体密封后开始升温熔融原料,原料融化后进行引晶和晶体生长,晶体生长完成后,冷却降温取出晶体。
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权利要求:
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