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异质结太阳能电池的制备方法及异质结太阳能电池 

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申请/专利权人:苏州迈为科技股份有限公司

摘要:本申请公开了一种异质结太阳能电池的制备方法及异质结太阳能电池,属于太阳能电池制备领域。异质结太阳能电池的制备方法,包括:提供硅衬底,并对硅衬底的受光面和背光面进行制绒处理;在受光面上形成掩膜层;去除背光面上的掩膜绕镀;对背光面进行精细化处理,使背光面形成为具有微结构的表面;去除掩膜层;在受光面和背光面上分别形成第一本征钝化层和第二本征钝化层;在第一本征钝化层和第二本征钝化层上分别形成第一导电类型掺杂层和第二导电类型掺杂层,其中,第二导电类型掺杂层包括多层层叠设置的第二子掺杂层,各层第二子掺杂层的折射率不同。本申请能提高背面的均匀性和平整度,还能降低背面反射率,提高电池的双面率并提高背面效率。

主权项:1.一种异质结太阳能电池的制备方法,其特征在于,所述方法包括:提供硅衬底,并对硅衬底的受光面和背光面进行制绒处理;在所述硅衬底的受光面的绒面上形成掩膜层;利用去绕镀溶液,去除所述硅衬底的背光面上的掩膜绕镀;对所述硅衬底的背光面进行精细化处理,使所述硅衬底的背光面形成为具有微结构的表面;去除所述掩膜层;在所述硅衬底的受光面和背光面上分别形成第一本征钝化层和第二本征钝化层;在所述第一本征钝化层和第二本征钝化层上分别形成第一导电类型掺杂层和第二导电类型掺杂层,其中,所述第二导电类型掺杂层包括多层层叠设置的第二子掺杂层,各层所述第二子掺杂层的折射率不同。

全文数据:

权利要求:

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