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申请/专利权人：中科合肥技术创新工程院
摘要：本发明涉及晶圆ESD保护技术领域，尤其涉及一种滤波器晶圆ESD保护电路及其ESD保护方法,包括晶圆层、设置在晶圆层左上角的信号输入模块、设置在晶圆层右上角的第一接地模块、设置在晶圆层左下角的第二接地模块、设置在晶圆层右下角的信号输出模块、设置在信号输入模块和第一接地模块之间的第一金属层。本发明中，通过将原先的晶圆加工方法进行了科学合理化改良，在二次溅射工艺中在切割通道内形成了导电金属线路、连接引线以及切割防偏线路，实现了多个晶圆之间接地模块之间的互联，有效分担晶圆制造、运输、存储、测以及封装等过程中产生的静电电压，显著降低滤波器晶圆加工过程中的ESD风险，从而提升加工后产品良率与加工可靠性。
主权项：1.一种滤波器晶圆ESD保护电路，包括晶圆层1、设置在晶圆层1左上角的信号输入模块101、设置在晶圆层1右上角的第一接地模块102、设置在晶圆层1左下角的第二接地模块103、设置在晶圆层1右下角的信号输出模块104、设置在信号输入模块101和第一接地模块102之间的第一金属层105、设置在第二接地模块103和信号输出模块104之间的第二金属层106以及交错设置在第一金属层105和第二金属层106之间的叉指电路107，其特征在于，所述晶圆层1呈矩形阵列设置有多个，所述多个晶圆层1之间彼此不接触形成切割通道，所述多个晶圆层1和切割通道之间设置有用于多个晶圆层1之间接地模块相互连通以分担静电电压的导电金属线路2。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中科合肥技术创新工程院 一种滤波器晶圆ESD保护电路及其ESD保护方法
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