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一种半导体器件旋转式接触的ESD装置 

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申请/专利权人:华天科技(昆山)电子有限公司;华天科技(江苏)有限公司

摘要:本发明公开了一种半导体器件旋转式接触的ESD装置,所述ESD装置用于旋转定位平台静电防护,旋转定位平台包括平台本体和设置在平台本体上的旋转模块,包括接地支架和接地模块,所述接地支架固定在平台本体上,所述接地模块与旋转模块弧面接触,所述接地模块上还设有弹力推杆和接地线端,所述弹力推杆与接地支架连接,所述接地线端用于连接接地导线。本发明通过弧面与旋转模块接触,两者的接触面积更大,可以提高静电防护的可靠性,同时缓和接地模块的磨损程度,延长接地模块的使用寿命;且增加了磨损传感器,当接地模块磨损到一定程度时,磨损传感器会因为感应不到弹力推杆灯灭而发出警报,以提示接地模块磨损寿命已到,可提高静电防护的可靠性。

主权项:1.一种半导体器件旋转式接触的ESD装置,所述ESD装置用于旋转定位平台静电防护,所述旋转定位平台包括平台本体和设置在平台本体上的旋转模块,其特征在于:包括接地支架和接地模块,所述接地支架固定在平台本体上,所述接地模块与旋转模块弧面接触,所述接地模块上还设有弹力推杆和接地线端,所述弹力推杆与接地支架连接,所述接地线端用于连接接地导线。

全文数据:

权利要求:

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