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申请/专利权人:上海华力微电子有限公司
摘要:本发明公开了一种MV‑NMOS器件及ESD器件,属于半导体制造技术领域,该MV‑NMOS器件,包括:P型衬底;P型阱区,形成于所述P型衬底中,所述P型阱区的顶部设置有栅极;第二N型阱区,位于所述栅极的一侧,用于作为所述MV‑NMOS器件的漏极,所述第二N型阱区和所述栅极之间还布置有P型离子注入区。通过在器件的漏极和栅极之间添加P型离子注入区,寄生NPN的有效沟道随着P型离子注入区的插入而增加,改善MV‑NMOS器件的保持电压Vh。
主权项:1.一种MV-NMOS器件,其特征在于,包括:P型衬底;P型阱区,形成于所述P型衬底中,所述P型阱区的顶部设置有栅极;第二N型阱区,位于所述栅极的一侧,用于作为所述MV-NMOS器件的漏极,所述第二N型阱区和所述栅极之间还布置有P型离子注入区。
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百度查询: 上海华力微电子有限公司 MV-NMOS器件及ESD器件
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