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申请/专利权人：上海利扬创芯片测试有限公司
摘要：本发明涉及半导体测试技术领域，公开了一种晶圆测试环境自检系统及晶圆测试环境自检方法，通过在针卡PCB上设置样品芯片和切换测试电路，使得测试机可通过切换测试电路在与样品芯片连接和与量产芯片连接之间切换，以切换到样品测试模式或量产测试模式，从而可有效地保证修调或校准类芯片在进行晶圆测试时与每次量产前环境的一致性，不仅确保了修调或校准类芯片在进行晶圆测试时数据的准确性，而且成本低、自检时间短，有利于提高生产效率。
主权项：1.一种晶圆测试环境自检系统，其特征在于，所述系统包括：测试机；针卡PCB，所述针卡PCB与所述测试机连接，且设置有与所述针卡PCB连接的切换测试电路；样品芯片，所述样品芯片设置在所述针卡PCB上，且通过所述切换测试电路与所述针卡PCB连接；量产芯片，所述量产芯片通过所述针卡PCB上的探针和所述切换测试电路与所述针卡PCB连接；所述测试机通过所述切换测试电路在与所述样品芯片连接和与所述量产芯片连接之间切换，以切换到样品测试模式或量产测试模式。
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