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基于等光程单元件点衍射外差干涉的波前传感方法及装置 

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申请/专利权人:四川大学

摘要:本发明公开了一种基于等光程单元件点衍射外差干涉的波前传感方法及装置。所述波前相位分布重建方法包括几个重要步骤,分别是光路调试、图像采集、图像数据处理、目标波前相位分布重建。所述测量装置包括光源放置平台、分光及差频引入系统、点衍射滤波系统、单元件合束系统、图像采集系统。待测光波经由分光及差频引入系统分束为待测光波与预备参考光波,预备参考光波经点衍射滤波系统调制为近理想平面波,最后经由单元件合束系统产生干涉图样,并由图像采集系统进行采集,最终实现波前相位分布重建。基于本发明能够实现高精度的波前相位分布重建,并且本发明相较于传统波前相位分布检测方法结构更加简单、成本更低、抗震性能较强、波前相位分布重建精度更高,且构建了等光程干涉光路,可以实现较高精度的部分相干光波前相位分布重建。

主权项:1.基于等光程单元件点衍射外差干涉的波前传感方法及装置,主要包括波前相位分布重建方法与测量装置,其特征在于:所述波前相位分布重建方法包括几个重要步骤,分别是光路调试、图像采集、图像数据处理、目标波前相位分布重建;所述测量装置包括光源放置平台1,分光及差频引入系统2,点衍射滤波系统3,单元件合束系统4,图像采集系统5,所述分光及差频引入系统2由步进电机2a、分光光栅2b、线性平移台2c、光阑2d、凸透镜2e组成,所述点衍射滤波系统3由显微物镜3a、针孔滤波器3b、凸透镜3c、线性移动平台3d、步进电机3e组成,所述单元件合束系统4由偏振片4a、分束棱镜4b组成,所述图像采集系统5由光电探测器5a构成。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 四川大学 基于等光程单元件点衍射外差干涉的波前传感方法及装置

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