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摘要：本发明提出了一种D‑BAW空气桥结构及其形成方法。属于体声波滤波器技术领域；所述D‑BAW空气桥结构包括基底、围栏层、下钝化层、下电极、压电层、上电极和上钝化层；所述围栏层、下钝化层、下电极、压电层、上电极和上钝化层依次沉积在所述基底上，其中，所述上电极与压电层之间设置有空气桥结构。
主权项：1.一种D-BAW空气桥结构，其特征在于，所述D-BAW空气桥结构包括基底、围栏层、下钝化层、下电极、压电层、上电极和上钝化层；所述围栏层、下钝化层、下电极、压电层、上电极和上钝化层依次沉积在所述基底上，其中，所述上电极与压电层之间设置有空气桥结构。
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百度查询： 深圳新声半导体有限公司 一种D-BAW空气桥结构及其形成方法
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