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申请/专利权人：ASMIP私人控股有限公司
摘要：公开了一种化学容器，所述化学容器包括布置在结合到化学容器的壳体中的细长沉孔中的汲取管和液位传感器管。化学容器可以构造成允许进行推回程序，由此化学容器中的液体液位降低到汲取管在汲取管内部或汲取管底部处没有液体的点。一旦汲取管没有液体，则可使用真空源来吹扫化学容器内的蒸气，而没有损坏真空源的风险。
主权项：1.一种用于提供化学前体的化学容器，所述化学前体用于将半导体膜沉积在衬底上，所述化学容器包括：容器壳体；内置于所述容器壳体的底部中的沉孔；从所述容器壳体的顶部基本上延伸到所述沉孔中的液位传感器管，所述液位传感器管包括指示所述容器壳体内的化学前体液位的多个液位传感器；从所述容器壳体的顶部基本上延伸到所述沉孔的顶部的汲取管；联接到所述汲取管的真空源；以及将所述真空源连接到所述汲取管的真空阀；其中所述真空源构造成从所述容器壳体移除所述化学前体的蒸气，其中所述多个液位传感器设置在所述液位传感器管上的不同位置处，并包括第一液位传感器和第二液位传感器，所述第二液位传感器设置在所述第一液位传感器和所述沉孔的顶部的下方。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASMIP私人控股有限公司 具有汲取管的化学源容器
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