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申请/专利权人：上海图双精密装备有限公司
摘要：本发明公开了一种用于涂胶显影设备的晶圆传送手臂，包括手臂本体，还包括两个与手臂本体滑动连接的调节座，所述调节座内设有真空通道，所述调节座上固定连接有球头座，所述球头座上固定连接有顶部、底部均为平面的球头，所述球头顶部固定连接有限位板，所述限位板上设有通孔，所述通孔向下延伸依次贯穿球头、球头座并与真空通道连通，所述球头外部可转动地套接有吸盘座，所述吸盘座可相对球头在一定范围内摆动，所述吸盘座顶部安装有吸盘，所述吸盘与通孔连通。本发明能够适应不同尺寸的晶圆及发生翘曲的晶圆。
主权项：1.一种用于涂胶显影设备的晶圆传送手臂，包括手臂本体，其特征在于，还包括两个与手臂本体滑动连接的调节座，所述调节座内设有真空通道，所述调节座上固定连接有球头座，所述球头座上固定连接有顶部、底部均为平面的球头，所述球头顶部固定连接有限位板，所述限位板上设有通孔，所述通孔向下延伸依次贯穿球头、球头座并与真空通道连通，所述球头外部可转动地套接有吸盘座，所述吸盘座可相对球头在摆动，所述吸盘座顶部安装有吸盘，所述吸盘与通孔连通；所述手臂本体一端设有滑槽，两所述调节座的一端均固定连接有设在滑槽内部并与滑槽相配合的滑块，两所述滑块上均设有至少一个竖直分布的螺纹孔，所述滑槽与螺纹孔相对的一端侧壁设有长条通孔，所述长条通孔贯穿有与螺纹孔螺纹连接的螺栓组件；两所述调节座彼此远离的一侧均设有真空气孔接头，所述调节座顶部设有与通孔连通的第一通气孔，所述真空通道一端延伸至真空气孔接头与真空气孔接头连通，所述真空通道的另一端延伸至第一通气孔与第一通气孔连通；所述吸盘座为上宽下窄的喇叭状结构且内部有空腔，所述吸盘座的底部侧壁可转动地套接球头外部，所述吸盘座的底部侧壁可相对球头在摆动，所述吸盘座的顶部侧壁与限位板间留有间隙，所述吸盘座的顶部侧壁设有第二通气孔，所述第二通气孔与吸盘连通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海图双精密装备有限公司 一种用于涂胶显影设备的晶圆传送手臂
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