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申请/专利权人：安迈特科技(北京)有限公司
摘要：本公开提供一种真空镀膜设备，包括：真空腔体、收放卷辊、蒸发镀膜装置以及至少一个除尘装置。所述收放卷辊设置在所述真空腔体内部，用于传送膜材；所述蒸发镀膜装置设置于所述真空腔体内部，用于接收所述膜材并为所述膜材镀膜；所述除尘装置设置于所述真空腔体内部，所述除尘装置包括：一对侧壁支架以及粘尘辊组件，所述一对侧壁支架正对地设置于所述真空腔体内部；所述粘尘辊组件设置于所述一对侧壁支架之间，用于去除所述膜材表面的杂质。
主权项：1.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括：真空腔体；收放卷辊，所述收放卷辊设置在所述真空腔体内部，用于传送膜材；蒸发镀膜装置，所述蒸发镀膜装置设置于所述真空腔体内部，用于接收所述膜材并为所述膜材镀膜；以及至少一个除尘装置，设置于所述真空腔体内部，每个所述除尘装置包括：一对侧壁支架，所述一对侧壁支架正对地设置于所述真空腔体内部；以及粘尘辊组件，设置于所述一对侧壁支架之间，用于去除所述膜材表面的杂质。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安迈特科技(北京)有限公司 真空镀膜设备
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