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一种测定薄膜折射率的分振幅干涉仪 

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申请/专利权人:中国民航大学

摘要:一种测定薄膜折射率的分振幅干涉仪。其包括底盘、半导体激光光源、光衰减器、光衰减器支架、第一分光板底座、第一分光板、第一一维移动台、第一反射镜、刻度盘、带指针旋转台、样品架、第二一维移动台、第二反射镜、第二分光板底座、第二分光板和光屏;本实用新型效果:可加深学生对等倾干涉和等厚干涉原理的理解;使用半导体固态激光器和短焦距凸透镜构成的半导体激光光源强度大,光屏上干涉条纹清晰可见;半导体激光光源出光口处设置光衰减器,方便调节等效光源位置,安全可靠;待测薄膜置于可旋转的样品架上,样品架外侧的刻度盘读数方便,通过旋转样品架改变光路光程差可清晰观察到干涉条纹的变化,并进行定量测量。

主权项:1.一种测定薄膜折射率的分振幅干涉仪,其特征在于:所述测定薄膜折射率的分振幅干涉仪包括底盘1、半导体激光光源2、光衰减器3、光衰减器支架4、第一分光板底座5、第一分光板6、第一一维移动台7、第一反射镜10、刻度盘11、带指针旋转台12、样品架13、第二一维移动台15、第二反射镜18、第二分光板底座19、第二分光板20和光屏22;其中,带指针旋转台12设置在底盘1的表面中部;样品架13固定在带指针旋转台12上,用于夹持待测薄膜14;刻度盘11为环形,以与带指针旋转台12同轴的方式环绕设置在带指针旋转台12外侧的底盘1上;半导体激光光源2、光衰减器支架4、第一分光板底座5和第一一维移动台7间隔设置在底盘1的一侧;光衰减器3、第一分光板6和第一反射镜10分别安装在光衰减器支架4、第一分光板底座5和第一一维移动台7上,并且半导体激光光源2、光衰减器3、第一分光板6和第一反射镜10的中心上下对齐;第二一维移动台15和第二分光板底座19间隔设置在底盘1的另一侧;第二反射镜18和第二分光板20分别安装在第二一维移动台15和第二分光板底座19上;光屏22垂直设置在底盘1外侧靠近第二分光板20的位置,光屏22所在平面沿垂直方向延伸,并且第二反射镜18、第二分光板20和光屏22的中心上下对齐;同时第一分光板6、带指针旋转台12和第二一维移动台15的中心左右对齐;第一分光板6、第一反射镜10、第二反射镜18和第二分光板20所在平面与半导体激光光源2的出光方向接近45°角。

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