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申请/专利权人：细美事有限公司
摘要：本发明构思提供一种衬底传送装置。所述衬底传送装置包括：基座；第一传送臂，其配置成包括与所述基座连接的第一臂连杆以及与所述第一臂连杆连接的第一末端执行器，并且在收缩位置和伸展位置之间操作；和导引构件，其在所述第一传送臂从所述伸展位置向后移动到所述收缩位置时使放置在所述第一末端执行器上的所述衬底对齐。
主权项：1.一种衬底传送装置，包括：基座；第一传送臂，其配置成包括与所述基座连接的第一臂连杆以及与所述第一臂连杆连接的第一末端执行器，并且在收缩位置和伸展位置之间操作；和导引构件，其在所述第一传送臂从所述伸展位置向后移动到所述收缩位置时使放置在所述第一末端执行器上的所述衬底对齐。
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