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申请/专利权人：胜高股份有限公司
摘要：提供一种半导体样品的评价方法，包括：通过对评价对象的半导体样品进行利用光电导衰减法的测定来取得衰减曲线；对上述衰减曲线实施利用模型式的信号数据处理，所述模型式包括指数衰减项和常数项；以及根据通过上述信号数据处理而得到的指数衰减的式子，求出上述半导体样品的复合寿命。
主权项：1.一种半导体样品的评价方法，其中，包括：通过对评价对象的半导体样品进行利用光电导衰减法的测定来取得衰减曲线；对所述衰减曲线实施利用模型式的信号数据处理，所述模型式包括指数衰减项和常数项；以及根据通过所述信号数据处理而得到的指数衰减的式子，求出所述半导体样品的复合寿命。
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百度查询： 胜高股份有限公司 半导体样品的评价方法、半导体样品的评价装置及半导体晶片的制造方法
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