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申请/专利权人：合肥工业大学

摘要：本发明公开一种基于主次参考镜的光谱分辨干涉测距装置，包括测量部分、倾斜探测部分、光环行器以及光谱仪，所述光环行器将宽带光源、测量部分、光谱仪连接起来，宽带光源发出的光通过光环行器先到达测量部分，测量部分得到待测样品的相关待测信息通过光环行器到达光谱仪，光谱仪得到相关光谱信息传入后得出测量结果。当被测物体法线与光轴不重合时，可以通过倾斜探测模块信号对其被测物体进行调整，以提高测量精度。本发明无需扫描，即可直接获取一定深度内每一点处的被测距离值。在整个测量过程不会引入机械或光学扫描带来的误差，提高了测量精度。采用主次参考镜，解决了光谱分辨干涉法无法辨别出参考镜与被测物体的前后位置，使测量结果不受方向模糊的影响，扩大了一倍的测量范围。

主权项：1.一种基于主次参考镜的光谱分辨干涉测距装置，其特征在于，包括测量部分、倾斜探测部分、1550nm宽带光源、光环行器OC以及光谱仪，所述光环行器OC将1550nm宽带光源、测量部分、光谱仪连接起来，1550nm宽带光源发出的光通过光环行器OC先到达测量部分，测量部分得到待测样品的相关待测信息通过光环行器OC到达光谱仪，光谱仪得到相关光谱信息传入PC后得出测量结果；其中，所述的测量部分包括，1550nm宽带光源、第一耦合器FC1、第一立方体分束镜BS1、第二立方体分束镜BS2、二相色镜DM、精密位移台MS、待测样品M3、第一反射镜M1、第二反射镜M2，待测物品M3固定在精密位移台MS上；测量部分光路结构为，自1550nm宽带光源发射的光源经光环行器OC、第一耦合器FC1、第一立方体分束镜BS1分为两部分，一部分经二相色镜DM至精密位移台MS上的待测物品M3上后反射回第一耦合器FC1，另一部分至第二立方体分束镜BS2后，分别至第一反射镜M1、第二反射镜M2后反射回第一耦合器FC1；所述的测量部分第一反射镜M1的反射率大于第二反射镜M2，从而构成主次参考镜，达到辨向的目的；所述的倾斜探测部分包括，630nm光源、第二耦合器FC2、第三立方体分束镜BS3、二相色镜DM、精密位移台MS、待测样品M3、四象限探测器；所述的倾斜探测部分光路结构为，自630nm光源发射的光源经第二耦合器FC2、第三立方体分束镜BS3、二相色镜DM至精密位移台MS上的待测物品M3上，待测物品M3反射回的光经过二相色镜DM与立方体分束镜BS3射入四象限探测器中。

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