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申请/专利权人：精工爱普生株式会社
摘要：提供一种振动器件，能够抑制电路特性的下降。振动器件具有：振动片；半导体基板，其具有第1面以及位于所述第1面的相反侧的第2面，所述振动片配置于所述第1面；分数N‑PLL电路，其配置于所述第2面；布线，其配置于所述第1面，将所述振动片与所述分数N‑PLL电路电连接；输出端子，其配置在所述半导体基板的所述第2面侧，与所述分数N‑PLL电路电连接，输出来自所述分数N‑PLL电路的信号，在沿着所述半导体基板的厚度方向的俯视中，所述输出端子不与所述布线重叠。
主权项：1.一种振动器件，其特征在于，具备：振动片；半导体基板，其具有第1面和位于所述第1面的相反侧的第2面，所述振动片配置于所述第1面；分数N-PLL电路，其配置于所述第2面；布线，其配置于所述第1面，将所述振动片和所述分数N-PLL电路电连接；输出端子，其配置于所述半导体基板的所述第2面侧，与所述分数N-PLL电路电连接，输出来自所述分数N-PLL电路的信号；接地端子，其与地连接；以及金属层，其配置在所述第1面，且与所述半导体基板电连接，所述分数N-PLL电路是如下的PLL电路：通过切换电路整数的分频比而设为在时间平均上为分数的分频比，从而设定分数的分频比，所述分数N-PLL电路具有具备电感器的振荡器，所述半导体基板与所述接地端子电连接，在沿着所述半导体基板的厚度方向的俯视中，所述输出端子不与所述布线和所述电感器重叠，在所述俯视中，所述金属层与所述电感器重叠。
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